BSE探测器

BSE 探测器在扫描电子显微镜（SEM）和半导体晶圆 缺陷检测设备（EBL）等仪器设备中具有广泛应用，主要 用于检测样品反射的高能电子，其信号强度与样品原子 序数（Z）成正相关 。

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